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工具測量顯微鏡作為精密計量領(lǐng)域的核心設(shè)備，通過光學(xué)放大與坐標(biāo)測量技術(shù)的融合，實現(xiàn)了對微米級尺寸的精準(zhǔn)解析。其結(jié)構(gòu)設(shè)計以光學(xué)系統(tǒng)為核心，輔以精密機械與數(shù)字化模塊，形成多維度測量體系。以下從核心組件、輔助系統(tǒng)及功能擴展三個層面解析其結(jié)構(gòu)特征。一、光學(xué)成像系統(tǒng)：微米級觀察的基石1.多倍...

2025 5-9

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202312-13
MS測量顯微鏡在IC芯片引腳缺陷檢測應(yīng)用
在芯片制造過程中，芯片引腳扮演著連接內(nèi)部電路與外部電路的重要角色，相當(dāng)于芯片的接口。然而在芯片制造過程中，如果引腳出現(xiàn)缺失、破損、偏斜或不平整，容易導(dǎo)致后續(xù)貼片焊接時出現(xiàn)虛焊、虛接或漏接的問題，進而影響芯片的可靠性。芯片引腳缺陷檢測通常涉及測量和評估多個指標(biāo)，如檢測引腳外觀、測量引腳寬度、高度差等，通過綜合評估這些參數(shù)，能夠及時發(fā)現(xiàn)潛在的問題并提供預(yù)警，以確保芯片制造的質(zhì)量和可靠性。如何在芯片快速傳輸?shù)倪^程中，高效準(zhǔn)確地對引腳缺陷進行非接觸式測量分析，是芯片廠商亟待解決的問題...
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